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尾氣處理設(shè)備Scrubber
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产品说明
種類包括: 1,燃燒水洗式; 2,吸附式; 3,電離式; 4,水洗式; 處理氣體主要有:SiH4、NH3、PH3、B2H6、GeH4、SiH2Cl2、TEOS、NF3、H2、CO、SF6、C2F6、WF6、N2O、CF4 等。 主要應(yīng)用于:太陽能光伏、半導(dǎo)體、微電子、LED、高校實(shí)驗(yàn)室、科研單位等行業(yè)中產(chǎn)生的危害性廢氣。
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